***內(nèi)外企業(yè)利用低溫等離子體技術(shù)在方面開發(fā)了“低溫等離子體有機(jī)廢氣凈化設(shè)備”、“低溫等離子體廢水凈化設(shè)備”和“低溫等離子體汽車尾氣凈化技術(shù)”。

　　1. 低溫等離子體保鮮、殺菌、除臭等產(chǎn)品的開發(fā)。目前，已經(jīng)開發(fā)出適用于冰箱、空調(diào)和洗衣機(jī)的發(fā)電機(jī)。

　　2. “低溫等離子體有機(jī)廢氣凈化設(shè)備”利用低溫等離子體產(chǎn)生的具有高氧化性能的臭氧，在催化劑作用下，將低溫下的有機(jī)廢氣進(jìn)行完全。該設(shè)備可用于溶劑廠、印染廠、油漆廠等有機(jī)廢氣排放源。

　　3.“低溫等離子廢水凈化設(shè)備”可使制革廠、造紙廠、印染廠、游泳池排出的廢水經(jīng)過處理，達(dá)到無色、無味、無菌的效果。

　　低溫等離子體物理與技術(shù)經(jīng)歷了從20世紀(jì)60年代初的空間等離子體研究到20世紀(jì)80年代和90年代的材料導(dǎo)向研究的重***轉(zhuǎn)變。微電子科學(xué)、科學(xué)、能源材料科學(xué)等學(xué)科的高速發(fā)展，為低溫等離子體科學(xué)的發(fā)展帶來了新的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。

　　目前，低溫等離子體物理及其應(yīng)用已成為一門具有全球影響力的重要科學(xué)與工程，對高新技術(shù)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型產(chǎn)生了重***影響。例如，1995年全球微電子工業(yè)的銷售額為1 400億美元，三分之一的微電子設(shè)備和設(shè)備使用等離子技術(shù)。90%的塑料包裝材料都經(jīng)過低溫等離子體處理和改性?？茖W(xué)家預(yù)測，低溫等離子體科學(xué)技術(shù)將在21世紀(jì)取得突破。預(yù)計低溫等離子體技術(shù)在半導(dǎo)體工業(yè)、高膜、材料防腐、等離子電子、等離子合成、等離子冶金、等離子煤化工、等離子廢棄物處理等***域的潛在市場將達(dá)到每年1000多億美元。

　　等離子體輔助加工用于制造***種新材料的***異***性,開發(fā)新的化學(xué)物質(zhì)和化學(xué)過程,加工、轉(zhuǎn)換和精煉材料及其表面,有一個非常廣泛的工業(yè)應(yīng)用,從薄膜沉積、等離子體聚合、微電生產(chǎn)焊接,工具,硬化,的合成超細(xì)粉、等離子噴涂、等離子體化工、冶金、等離子體微波源,等